슬라이드변형흡수용 유연기구모듈을 이용한 시편이송장치

Abstract

본 발명은 반도체나 FPD의 검사장비나 정밀가공장비 등에 사용되는 시편이송장치에 관한 것으로; 베이스프레임(10)상에 탑재되어 제1가이드블록(21)을 따라 이동하는 제1슬라이드(20)와, 상기 제1슬라이드(20)상에 탑재되어 제2가이드블록(32)을 따라 이동하는 제2슬라이드(30)가 상호 교차하는 방향으로 장착된 이동부와; 상기 제2슬라이드(30)에 일체로 형성된 유연기구모듈(50)을 매개로 설치된 시편테이블(40)을 통해 시편(41)을 이송하며, 상기 시편테이블(40)에 상호 수직방향으로 장착된 X,Y바미러(42,43)를 통해 변위를 측정하는 이송부 및; 상기 이동부의 작동경로에 장착된 레이저헤드(61)와 빔분할기(62)와 인터페로미터(63)를 거쳐 발산되어 상기 X.Y바미러(42,43)에 의해 반사되는 빔의 간섭신호를 리시버(64)를 통해 입력받아 변위신호로 출력하는 측정부로 이루어져; 슬라이드에 의한 변형이 시편테이블로 전달되지 않으므로 시편테이블을 포함한 미러와 시편 등의 변형오차가 줄어들고 미러와 시편의 상대거리가 세팅되어 측정정확도가 향상될 뿐만 아니라, 시편의 가공에 따른 정확도가 향상되므로 불량률이 최소화되어 생산성이 향상된다.