마이크로 진동구조물과 그 공진주파수 조절방법 및 이를 이용한 마이크로 엑츄에이터

Abstract

마이크로 진동구조물과 그 공진주파수 조절방법 및 이를 적용한 액츄체이터가 개시된다. 마이크로 진동구조물은 기판, 기판 상방으로 소정간격을 유지한체 위치하는 관성체, 관성체에 접속된 적어도 하나의 탄성부재, 탄성부재를 상기 기판에 대하여 지지하는 적어도 하나의 지지체, 기판에 대해 평행한 방향으로 상기 관성체에 부착되어 소정길이 돌출 형성된 적어도 하나의 이동전극, 이동전극과 소정간격 이격되도록 상기 기판에 설치된 적어도 하나의 고정전극, 이등전극 및 상기 고정전극에 대해 상대 전극이 되는 것으로 상기 고정전극과 상기 이동전극의 선단부로부터 일정간격 이격되도록 상기 기판에 설치된 적어도 하나의 공통전극을 포함한다. 그리고 고정전극, 이동전극, 공통전극중 적어도 하나의 전위치를 다르게 하여 전극간에 전기장의 불균형을 기판과 평행한 방향으로 형성하고, 그 불균형에 의해 발생되는 기판과 평행한 방향의 정전 반발력으로 구동되며, 전극 사이의 전위차를 조절하여 정전반발력 및 관성체의 공진주파수를 조절한다. 마이크로 엑츄에이터는 그 양단을 통해 상기 진동구조물에 전위치를 형성하되 일단은 공통접속된 상기 이동전극과 상기 고정전극중 어느 하나의 전극과 전기적으로 접속되어 있고, 타단은 상기 공통전극에 전기적으로 접속되어 있는 전원공급수단을 구비한다.