포토리소그래피 및 모세관 현상을 이용한 계층적 구조물 제조방법 및 계층적 구조물

Abstract

본 발명은 모세관력 리소그래피와 포토리소그래피를 이용하며, LED 렌즈 등에 용이하게 적용 가능한 포토리소그래피 및 모세관 현상을 이용한 계층적 구조물 제조방법 및 계층적 구조물에 관한 것으로서, 그 방법은, (a) 기판(200)의 상부에 제1포토 레지스트 층(300)을 적층하는 단계; (b) 상기 제1포토 레지스트 층(300)의 상면에 리소그래피를 이용하여 나노 패턴(310)을 형성하는 단계; (c) 나노 패턴(310)이 형성된 상기 제1포토 레지스트 층(300)의 상면에 제2포토 레지스트 층(500)을 코팅하는 단계; (d) 상기 제2포토 레지스트 층(500)의 상면에 리소그래피를 이용하여 나노 패턴(510)을 형성하는 단계; (e) 나노 패턴(510)이 형성된 상기 제2포토 레지스트 층(500)의 상면에 포토리소그래피를 이용하여 마이크로 패턴(550)을 형성하여 계층적 구조의 박막층(800)을 형성하는 단계; (f) 상기 박막층(800)의 계층적 구조 표면을 몰드(900)로 복제하는 단계;를 포함하여, 상기 몰드(900) 상에 충전물을 충전하여 포토리소그래피 및 모세관 현상을 이용한 계층적 구조물(100')을 형성함으로써, 광 방출각과 광 추출 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.