박막 구조물을 이용한 미소입자 처리 장치Particle Processing Devices Using Membrane Structures
미소입자 처리 장치는 제1 유출입부와 제2 유출입부를 포함하며 미소입자를 포함하는 유체의 흐름을 위한 공간을 제공하는 챔버, 상기 챔버 내에 구비되며 상기 유체 내의 미소입자를 처리하기 위한 적어도 하나의 가변형 박막 구조물, 상기 가변형 박막 구조물에 압력을 인가하기 위한 적어도 하나의 박막 제어 라인, 및 상기 챔버 내에 상기 가변형 박막 구조물에 대응하도록 구비되며 상기 가변형 박막 구조물과 짝을 이루어 상기 미소입자를 필터링하기 위한 고정 구조물을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-09-04
- Application Date
- 2013-02-28
- Application Number
- 10-2013-0022194
- Registration Date
- 2014-09-04
- Registration Number
- 10-1440333-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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