미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 및 그 제조방법

Abstract

소량의 유량만으로도 효율적으로 입자를 검출하는 것이 가능한 경우에 적합하며 저가로 대량생산이 가능하며 소형화가 가능하여 휴대성이 우수하도록, 외부와 차단된 상태로 다단으로 구획되어 유체가 저류 및 이동하는 복수의 유동공간이 형성되는 판형상의 본체와, 유동공간을 서로 연결하며 마이크로 또는 나노 단위로 형성되는 복수의 노즐과, 본체의 맨위 상단 유동공간과 연결되며 외부로부터 유체를 공급하는 유입구와, 본체의 맨아래 하단 유동공간과 연결되며 내부의 유체를 외부로 배출하는 유출구와, 노즐의 출구 부분에 인접하여 각각의 유동공간에 설치되고 노즐로부터 분사되는 유체가 충돌한 다음 유동공간의 다른 부분으로 이동하도록 설치되는 복수의 충돌판을 포함하는 미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 제조방법을 제공한다.