자기 진단 능력을 구비한 대칭형 프루프 매스 가속도계와 그 제조 방법

Abstract

【목적】 변이, 속도, 진동, 가속도, 각속도 및 이들의 변화 측정에 이용하는 자기 진단 능력을 구비한 대칭형 프루프 매스 가속도계에 대해서 교차축 감도를 저하시킬 뿐만 아니라 자기 진단 저항 소자의 장착을 용이하게 한다. 【구성】 캔틸레버 빔 2의 면에 대해서 위치를 늦추어 같은 크기의 매스 1a,1 b를 대칭적으로 분포시키고 저항체 4 및 자기 진단 요소 5를 장착하는 평탄부를 캔틸레버 빔의 각각 단부 9a,9 b의 대향면에 확보한다. 또한 캔틸레버 빔 2의 각각 단부 9a,9 b를 필렛 라운딩에 형성한다.