멤즈 가변 커패시터MEMS VARIABLE CAPACITOR
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
| dc.contributor.author | 한창훈 | ko |
| dc.contributor.author | 최동훈 | ko |
| dc.contributor.author | 양현호 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T01:19:27Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T01:19:27Z | - |
| dc.date.issued | 2014-01-29 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/229535 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 멤즈 가변 커패시터에 관한 것으로서, 제 1전극, 상기 제1 전극과 이격되어 있는 제2 전극, 상기 제1 전극 상부에 플로팅되는 제3 전극, 및 상기 제2 전극과 대향되는 제4 전극, 상기 제3 전극과 상기 제4 전극을 연결하는 연결부, 및 상기 연결부의 일부 영역을 지지하는 지지부를 포함하는 액츄에이터를 포함하고, 상기 제3 전극 및 상기 연결부는 일체로 형성되며, 상기 제2 전극에 전압이 인가되어 상기 제1 전극과 상기 제3 전극 사이의 간격을 조절하여 커패시턴스를 가변시킬 수 있다. | - |
| dc.title | 멤즈 가변 커패시터 | - |
| dc.title.alternative | MEMS VARIABLE CAPACITOR | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한창훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최동훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 양현호 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2012-0068856 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1359578-0000 | - |
| dc.date.application | 2012-06-27 | - |
| dc.date.registration | 2014-01-29 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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