멤즈 가변 커패시터MEMS VARIABLE CAPACITOR

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본 발명은 멤즈 가변 커패시터에 관한 것으로서, 제 1전극, 상기 제1 전극과 이격되어 있는 제2 전극, 상기 제1 전극 상부에 플로팅되는 제3 전극, 및 상기 제2 전극과 대향되는 제4 전극, 상기 제3 전극과 상기 제4 전극을 연결하는 연결부, 및 상기 연결부의 일부 영역을 지지하는 지지부를 포함하는 액츄에이터를 포함하고, 상기 제3 전극 및 상기 연결부는 일체로 형성되며, 상기 제2 전극에 전압이 인가되어 상기 제1 전극과 상기 제3 전극 사이의 간격을 조절하여 커패시턴스를 가변시킬 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2014-01-29
Application Date
2012-06-27
Application Number
10-2012-0068856
Registration Date
2014-01-29
Registration Number
10-1359578-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/229535
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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