【과제】 2축 진동 구조물의 고유 진동수 조정 방법을 제공한다.
【해결 수단】 정전기력이 주어지는 제1 축방향으로 길이 방향이 일치하는 제1 스프링 부분과 상기 제 1 축방향으로 평면상 직교하는 제2 축방향으로 길이 방향이 일치해 상기 제 1 스프링 부분의 폭보다 좁은 폭을 가지는 제2 축방향의 제2 스프링 부분과 질량체를 구비하는 2축 진동 구조물의 고유 진동수 조정 방법에 있어서 상기 진동 구조물의 제1축 및 상기 평면에 직교하는 제3 축방향에 대한 고유 진동수를 측정하는 측정 단계와 상기 제 1 축방향의 고유 진동수를 고정한 상태에서 상기 제 3 축방향의 고유 진동수 조정을 할 수 있도록, 상기 제 1 축방향의 스프링 부분의 두께를 변화시키는 두께 증감 단계와 상기 측정 단계에서 측정된 제1축 및 제3 축방향의 고유 진동수가 허용 오차 범위내에 들어갈 때까지 상기의 측정 단계 및 두께 증감 단계를 반복하는 반복 단계를 가진다.