공유층을 구비한 MTJ소자 어레이 및 이의 제조방법

Abstract

본 발명은 자기터널접합 소자를 구성하는 고정층을 공유하는 MTJ 어레이 및 이의 제조방법에 관한 것으로. 본 발명은 병렬로 연결된 복수 개의 자기터널접합소자로 구성되는 자기터널접합소자 어레이에 있어, 고정된 자화방향을 갖고, 상기 자기터널접합소자 어레이에 대하여 단일 공유층으로 형성되는 고정층(Pinned layer)과; 가변적으로 역전되는 자화방향을 갖고, 상기 복수 개의 자기터널접합소자에 대하여 각각 개별적으로 분할되어 형성되는 구분된 자유층(Free layer)들과; 상기 고정층과 자유층 사이 그리고 인접한 상기 자유층들 사이에 형성되는 비자성층(Spacer)을 포함하여 구성된다. 이와 같은 본 발명에 의하면 다수층의 layer로 구성된 MTJ 어레이를 구성함에 있어, 식각 영역을 최소화하여, 제조 공정상에서 소자의 설계특성과 생산된 소자 특성과의 차이점이 최소화할 수 있는 장점이 있다.