진동 구조물 및 진동 구조물을 구비하는 액추에이터와 진동 구조물의 고유 진동수 제어 방법VIBRATORY STRUCTURE, METHOD FOR CONTROLLING NATURAL FREQUENCY THEREOF AND SENSOR AND ACTUATOR ADOPTING THE VIBRATORY STRUCTURE

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【과제】 관성체의 진동 변위에 따라 선형 전기력을 발생시킬 수 있는 진동 구조물을 제공하는 것을 과제로 한다. 【해결 수단】 진동 구조물은 지지단 21에 일단이 연결된 탄성 부재 22와 탄성 부재 22의 탄성력에 의해 진동하는 관성체 23과 관성체 23에 설치된 이동 전극 28과 지지단 21'에 연결된 유효 강성 제어용 전극 24와 이동 전극 28과 유효 강성 제어용 전극 24 사이에 전기력을 발생시키는 전원 공급 장치 27을 구비한다. 이 진동 구조물은 관성체 23의 변위에 따라 발생하는 전기력이 선형적으로 바뀌므로, 인가 전압이 변화시키는 것만으로 고유 진동수를 제어할 수 있다.
Assignee
삼성전자(주), KAIST
Country
JA (Japan)
Issue Date
2006-06-16
Application Date
1996-05-24
Application Number
8129741
Registration Date
2006-06-16
Registration Number
3816996
URI
http://hdl.handle.net/10203/229401
Appears in Collection
BiS-Patent(특허)
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