【과제】 구조물의 제어의 응답성 효과적인 향상이나 구조물을 왜곡시키는 힘의 평형화가 어려웠다.
【해결 수단】 제1축 및 상기 제 1축에 직교하는 제2축으로 구성되는 평면에서 수직 방향의 제3축의 방향으로 이격되어 배치되는 진동 구조물 30과 상기 진동 구조물을 정전기력에 의해 제2 축방향으로 진동시키는 구동 수단 31a,31b,32a,32 b와 상기 진동 구조물이 상기 제 1 축방향의 각속도를 가질 때 상기 진동 구조물이 제3축의 방향으로 변위되는 것을 감지할 수 있도록 상기 평면에 배치된 센서 전극 수단 33a,33 b와 상기 진동 구조물의 제3 축방향의 변위를 제어할 수 있도록 상기 진동 구조물의 상부에 배치된 힘평형용 상부 토크 전극 수단 37a,37 b와 상기 진동 구조물의 제3 축방향의 변위를 제어할 수 있도록 상기 진동 구조물의 하부에 배치된 힘평형용 하부 토크 전극 수단 35a,35 b를 구비하는 자이로스코프를 제안한다.