고성능 유기박막트랜지스터를 제조하는 방법

Abstract

본 발명은 고 성능 유기박막트랜지스터를 제조하기 위한 유기 증기상 젯 프링팅 장치와 이를 이용하여 유기박막트랜지스터를 제조하는 방법 및 이를 이용하여 제조된 고성능 유기박막트랜지스터로서, 유기박막트랜지스터의 제조방법에 있어서, (A) 각각의 저장 챔버내에 존재하는 증기상태의 유기반도체 물질 및 도판트 물질을 각각의 유입량을 조절하여 혼합 챔버로 유입시키는 단계 및 (B) 상기 혼합 챔버내의 증기상태의 유기반도체 물질, 도판트 물질 또는 이들의 혼합 물질을 상기 혼합 챔버의 노즐이 이동하며 도핑 농도를 조절하여 젯(jet)상태로 분사하는 단계를 포함하며, 상기 (A) 및 (B) 단계에 의해 유기반도체층과 소스 전극 사이 및 유기반도체층과 드레인 전극 사이에 국소 도핑된 유기반도체층인 주입층이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 증기상 젯 프린팅 장치를 이용하여 유기박막트랜지스터를 제조하는 방법과 이에 사용되는 유기 증기상 젯 프린팅 장치 및 이들을 통해 제작된 유기박막트랜지스터이며, 이와 같은 본 발명에 의하면, 소스 전극과 유기반도체층 사이와 드레인 전극과 유기반도체층 사이의 접합에서 접촉 저항 및 주입 에너지 장벽을 최소화시키고 구동 전압을 효과적으로 줄일 수 있으며 전력효율을 크게 향상시킨 유기박막트랜지스터를 제조할 수 있게 된다.