적층형 태양전지 및 상기 태양전지의 제조방법Tandem Solar Cell And Manufacturing Method Therefor

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본 발명은 전도성 기판 상에 p+ 층, 단결정 실리콘층, 비정질 실리콘층 및 투명 전도성 산화층이 순서대로 적층된 적층형 태양전지에 있어서, 상기 단결정 실리콘층의 두께가 1 ~ 100 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 적층형 태양전지에 관한 것이다. 또한 본 발명은 전도성 기판 상에 단결정 실리콘층과 비정질 실리콘층이 형성된 적층형 태양전지 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 단결정 실리콘 기판의 양면에 p+ 층을 형성하는 단계, 상기 단결정 실리콘 기판의 소정의 깊이에 수소 이온을 주입하여 비정질 실리콘층을 형성하는 단계, 상기 p+ 층 상부면에 전도성 기판을 형성하는 단계, 상기 단결정 실리콘 기판을 수소 이온을 주입한 위치에서 절단하는 단계 및 상기 비정질 실리콘층 상부면에 투명 전도성 산화물층을 형성하는 단계를 포함하는, 전도성 기판 상에 단결정 실리콘층과 비정질 실리콘층이 형성된 적층형 태양전지를 제조하는 방법에 관한 것이다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2010-06-28
Application Date
2008-12-29
Application Number
10-2008-0135620
Registration Date
2010-06-28
Registration Number
10-0967903-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/229171
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MS-Patent(특허)
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