패턴화된 구조를 가지는 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법Nano Structure of Block Copolymer Having Patternized Structure and Method for Preparing the Same

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dc.contributor.author김상욱ko
dc.contributor.author정성준ko
dc.contributor.author이수미ko
dc.contributor.author김봉훈ko
dc.contributor.author김지은ko
dc.contributor.author남승호ko
dc.date.accessioned2017-12-20T01:03:27Z-
dc.date.available2017-12-20T01:03:27Z-
dc.date.issued2012-05-15-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/229149-
dc.description.abstract본 발명은 패턴화된 구조를 가지는 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 유기물 포토레지스트 패턴을 형성한 후 블록공중합체의 자기조립 나노구조를 유도하는 방법에 의해 제조되는, 패턴화된 구조를 가지는 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 유기물 포토레지스트를 사용하여 블록공중합체의 나노구조체 제조 후 포토레지스트의 제거가 용이하고, 제조과정 중에 포토레지스트 패턴의 요철 형태를 조절함으로써, 최종적으로 제조되는 블록공중합체의 나노구조체의 구조를 제어함으로써 원하는 형태의 블록공중합체의 나노구조체를 제조할 수 있어 다양한 분야에 적용가능하다.-
dc.title패턴화된 구조를 가지는 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법-
dc.title.alternativeNano Structure of Block Copolymer Having Patternized Structure and Method for Preparing the Same-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor김상욱-
dc.contributor.nonIdAuthor정성준-
dc.contributor.nonIdAuthor이수미-
dc.contributor.nonIdAuthor김봉훈-
dc.contributor.nonIdAuthor김지은-
dc.contributor.nonIdAuthor남승호-
dc.contributor.assignee삼성전자주식회사,한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2008-0126655-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1148208-0000-
dc.date.application2008-12-12-
dc.date.registration2012-05-15-
dc.publisher.countryKO-
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