음향변환소자 및 그 제조방법과 이를 갖는 음향기기ACOUSTIC TRANSDUCER, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND ACOUSTIC DEVICE HAVING THE SAME
본 발명의 일실시예에 의한 음향변환소자는, 개구를 갖는 실리콘 기판과, 개구를 덮도록 실리콘 기판 위에 배치된 탄성중합체 박막과, 탄성중합체 박막에 결합된 도선패턴과, 도선패턴에 전류를 공급하기 위해 도선패턴에 연결된 연결패턴을 포함한다. 탄성중합체 박막은 개구에 탄성변형 가능하게 배치된 진동부를 갖고, 도선패턴은 외부 자기장과의 상호 전자기적 작용으로 진동부를 탄성 변형시켜 음파를 발생시킨다. 본 발명에 의하면, 변형량이 큰 탄성중합체 박막을 진동판으로 사용함으로써, 음향기기의 출력을 높일 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2011-01-27
- Application Date
- 2008-12-04
- Application Number
- 10-2008-0122365
- Registration Date
- 2011-01-27
- Registration Number
- 10-1012617-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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