초음파 가진을 이용한 전사 시스템 및 전사 방법TRANSFER SYSTEM AND TRANSFER METHOD USING ULTRASONIC VIBRATION
본 발명은 초음파 가진을 이용한 전사 시스템 및 전사 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초음파 가진을 이용한 전사 시스템은, 초음파 진동을 발생시키는 초음파 가진기, 초음파 가진기로부터의 초음파 진동을 전달하는 글래스, 글래스의 하부에 형성되고, 전사될 전사 재료가 증착되어 있는 플레이트, 플레이트의 하부에 형성되고, 전사 재료가 전사되어 패턴이 형성되는 기판을 포함하며, 초음파 가진기에서 발생된 초음파 진동이 글래스의 소정부위에 전달되고, 전달된 초음파 진동에 의하여 플레이트에 증착되어 있는 전사 재료가 기판으로 전사되어, 기판에 패턴이 형성된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2010-05-31
- Application Date
- 2008-08-28
- Application Number
- 10-2008-0084241
- Registration Date
- 2010-05-31
- Registration Number
- 10-0961974-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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