단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치 및구동방법

Abstract

본 발명은 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치 및 구동방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세입자를 구동하기 위하여 전원을 인가하기 위한 두 개의 전극을 단일 평면 상에 형성시키고 광전자적인 전기장 형성 및 미세입자 구동이 가능하도록 함으로써 다양한 장치에 적용가능한 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치 및 구동방법에 관한 것이다. 본 발명의 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치는 빛을 조사하는 광원; 상기 빛의 조사여부에 따라 부분적으로 도통되는 광전도성층; 상기 광전도성층을 통해 인가되는 전원에 의해 미세입자의 구동을 위한 전위차를 형성하며 단일기판 상에 서로 이격되어 위치하는 두 개 이상의 전극;을 포함한다. 위와 같은 구성의 본 발명의 단일 평면 광전자 소자를 이용한 미세입자 구동장치는 미세입자의 구동이 용이하고 부피가 감소하여 휴대성이 증가하고 공정수, 공정단가 및 제작 복잡도가 감소하며 다양한 조건에 맞게 랩온어칩(Lab-on-a-Chip)을 구현할 수 있는 효과가 있다.