자동 초점 조절 장치 및 그 방법

Abstract

본 발명은 자동 초점 조절 수단으로서 레이저 스팟 간의 간격 거리를 제 1 차 수단으로 사용하고, 레이저 스팟의 형상은 제 2 차 수단으로 채용함으로써, 검사 시편에 의해 발생될 수 있는 패턴 영향, 난반사 문제에 유연하게 대응하여 자동 초점 조절을 수행할 수 있고, 정확히 측정된 좌표값을 근거로 하여 산출된 길이 데이터를 제 1 차 초점 조절 수단으로 이용하여 정확한 자동 초점 조절이 가능한 자동 초점 조절 장치를 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 자동 초점 조절 장치는 레이저 광 출력부, 시준 렌즈, 핀홀, 회절 격자, 집광 렌즈, 광 분할기, 대물 렌즈, 원기둥 렌즈 및 광 검출기로 구성된 광학 시스템과 상기 광 검출기에 검출된 레이저 광선 스팟의 형상 및 스팟 간의 거리를 판독하는 연산 장치와; 초점이 맞을 경우의 스팟 간의 간격 거리값 (기준값)이 저장되는 기억 매체와; 새로운 검사 시편 로딩 시 검출된 형상 및 스팟 간의 거리를 상기 기억 매체에 저장된 기준값과 비교하여 초점이 맞을 때의 형상 및 스팟 간의 거리를 유지하도록 제어하는 제어 장치; 및 상기 제어 장치에 의한 제어 신호에 따라 구동되는 구동 모터를 포함하도록 구성되어 있다.