마이크로 미러 및 이를 이용한 마이크로 미러 어레이MICRO MIRROR AND MICRO MIRROR ARRAY USING THEREOF

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본 발명은 마이크로 미러 및 이를 이용한 마이크로 미러 어레이에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 미러는 절연기판, 절연기판 상에 형성된 어드레스(Address) 전극, 어드레스 전극 상에 형성된 절연층, 절연층 상에 형성되어, 어드레스 전극과 전기적으로 절연된 전하충전부, 및 지지부를 통하여 절연기판 상에 연결되고, 전하충전부와 대향되도록 이격되어 회전 가능하게 설치되며, 입사되는 입사광을 반사하는 반사체를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2010-01-20
Application Date
2007-10-15
Application Number
10-2007-0103410
Registration Date
2010-01-20
Registration Number
10-0938994-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/228317
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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