형태 조절이 가능한 단결정 나노구조체 제작방법 및 단결정나노구조체 제작장치

Abstract

본 발명은 다양한 형태의 물질을 진공 시스템 내부에서 그 타겟부재의 온도, 상기 타겟부재에 가해지는 인가 전압, 펄스 폭, 타겟부재의 기화 후 전구체의 종류 등의 변수에 따라서 원하는 형태의 나노 구조로 변화가능한 형태 조절이 가능한 단결정 나노구조체 제작방법 및 단결정 나노구조체 제작장치에 관한 것이다. 본 발명의 나노 구조는 각각이 저장 매체의 단위로 사용될 수 있어, 고밀도의 저장 매체를 생산할 수 있고, 금속이나 반도체의 나노 사이즈에서 나타나는 특정한 전기적, 물리적 특성을 이용하여 다양한 디바이스의 소형화가 가능하다. 펄스 인가 증발 방법(Pulse induced evaporation method), 형태조절(morphology control), 단결정, 나노구조, 나노와이어, 나노튜브, 나노로드, 상변화 메모리, 칼코게나이드, 하니컴구조(honey-comb structure), 상하부 기판 근접방식