압전 구동기를 이용한 장행정 정밀 이송 장치

Abstract

본 발명은 반도체 가공 및 정밀 광학 소자 정렬을 위한 고분해능 장행정 정밀 이송 장치에 관한 것으로, 적어도 어느 한 쪽 방향으로 이송 운동이 가능한 이송부재(2)를 갖는 가이드 모듈과; 상기 이송부재(2)를 이송 구동시키는 구동모듈이 포함되고, 상기 구동모듈은, 상기 이송부재(2)의 이송방향에 대하여 수직으로 설치되고, 전단 변형을 이용하여 상기 이송부재(2)를 구동시키는 가동수단과; 상기 가동수단을 이송부재(2)에 밀어붙여 예압을 발생시키는 예압수단과; 상기 이송부재를 예압수단측에 고정 및 해제시키는 죔 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.