정전 구동기, 그 구동방법 및 이를 이용한 응용소자ELECTROSTATIC ACTUATOR, THE METHOD OF ACTUATING THE SAME AND APPLICABLE DEVICES USING THEREOF
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
| dc.contributor.author | 양현호 | ko |
| dc.contributor.author | 최동훈 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-18T04:44:10Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-18T04:44:10Z | - |
| dc.date.issued | 2009-01-30 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/228223 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 마이크로 전자기계 시스템(MEMS; microelectromechnical systems)에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 정전 구동기(electrostatic actuator)와 그 구동 방법 및 그 응용 소자에 관한 것이다.본 발명에 따른 정전 구동기는, 주전극, 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부, 주전극 및 전하충전부와 이격되어 형성된 유동전극을 포함한다.본 발명에 의해 종래의 정전 구동기에 비해 구동전압이 매우 낮고, 구동전압을 임의로 조절할 수 있는 정전 구동기가 제공된다. 또한, 외부 노이즈에 대한 내구성이 강하고 신뢰성 있는 연속 동작이 가능한 정전 구동기가 제공된다.또한, 본 발명에 의해 정전 구동기를 이용한 비휘발성 기계식 메모리, 논리회로 및 스위치가 제공된다.MEMS, 구동기(actuator), 정전 구동, 선충전(Pre charged), 메모리, 스위치 | - |
| dc.title | 정전 구동기, 그 구동방법 및 이를 이용한 응용소자 | - |
| dc.title.alternative | ELECTROSTATIC ACTUATOR, THE METHOD OF ACTUATING THE SAME AND APPLICABLE DEVICES USING THEREOF | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 양현호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최동훈 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2007-0061361 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0882148-0000 | - |
| dc.date.application | 2007-06-22 | - |
| dc.date.registration | 2009-01-30 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.