대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지TILT STAGE FOR LARGE SURFACE AND HEAVY LOAD
본 발명은, 하부 판, 하부 판 상에 부착된 복수의 고정부, 고정부 각각에 수평으로 부착된 복수의 구동부, 및 복수의 구동부 상에 얹혀지는 상부 판을 포함하고, 복수의 구동부 각각은 수평 방향 브릿지(bridge) 구조체, 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향 대각선으로 내접하고 전압원에 연결된 압전 소자, 및 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향에 수직인 타방향 대각선으로 연결되고 상측으로 돌출된 수직 방향 반-브릿지 구조체로 구성되는 금형 셋업을 위한 틸트 스테이지를 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2008-03-18
- Application Date
- 2007-01-08
- Application Number
- 10-2007-0001842
- Registration Date
- 2008-03-18
- Registration Number
- 10-0816456-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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