매크로렌즈를 이용한 대면적 삼차원 형상측정을 위한 백색광주사간섭계 및 형상측정방법Apparatus and method of white-light interferometry for 3-D profile measurements with large field of view using macro lenses

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본 발명은 백색광주사간섭계를 이용한 미세한 삼차원 형상을 측정하는 장치의 설계에 있어서, 기존의 마이켈슨형의 백색광주사간섭계의 구성에 널리 사용되고 있는 현미경 대물렌즈를 매크로렌즈로 대치하여, 한 번에 측정할 수 있는 측정대상물의 횡방향 면적 영역을 획기적으로 확장할 수 있는 새로운 원리 및 이의 세부적 구현 방법에 관한 것이다. 매크로렌즈를 도입한 백색광주사간섭계는 백색광 조명광학계, 상기 백색광을 측정면과 기준면에 조사하기 위해 측정광과 기준광으로 분리하는 광분할기, 상기 측정면과 기준면에서 반사된 측정광과 기준광을 동시에 결상하기 위한 매크로렌즈, 그리고 상기 매크로렌즈로부터 얻어진 백색광 간섭무늬를 획득하는 영상획득부로 구성된다. 상기와 같이 구성되는 본 발명은 일반 카메라의 접사촬영에 널리 사용되는 매크로렌즈를 활용하여 한 번에 측정할 수 있는 미세한 삼차원 형상의 횡방향 면적 영역을 무제한적으로 확장하여, 대면적의 대상물을 고속으로 측정할 수 있는 장점을 제공한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2008-06-16
Application Date
2006-12-07
Application Number
10-2006-0123856
Registration Date
2008-06-16
Registration Number
10-0840395-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/228072
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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