옥세탄-함유 화합물, 이를 포함한 포토레지스트 조성물,상기 포토레지스트 조성물을 이용한 패턴 형성 방법 및잉크젯 프린트 헤드An oxetane-containing compound, a photoresist composition comprising the same, a method for preparing a pattern using the photoresist composition and an inkjet print head

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dc.contributor.author김규식ko
dc.contributor.author김진백ko
dc.contributor.author하용웅ko
dc.contributor.author박병하ko
dc.contributor.author박지영ko
dc.contributor.author김수민ko
dc.date.accessioned2017-12-18T04:38:15Z-
dc.date.available2017-12-18T04:38:15Z-
dc.date.issued2008-06-04-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/228067-
dc.description.abstract본 발명은 하기 화학식 1또는 2를 갖는 옥세탄-함유 화합물, 이를 포함한 포토레지스트 조성물, 상기 포토레지스트 조성물을 이용한 패턴 형성 방법 및 상기 옥세탄-함유 화합물의 중합 결과물을 포함한 잉크젯 프린트 헤드에 관한 것이다:<화학식 1> <화학식 2> 상기 화학식 1 중, Q1, Q2, Q3, Q4, Q5, Q6, Q7, Q8, L1, L2, a, b, c, d, e, f, g, h 및 n은 발명의 상세한 설명을 참조한다. 본 발명을 따르는 옥세탄-함유 화합물은 중합성이 우수하여 포토레지스트로 이용될 수 있으며, 이의 중합 결과물은 내열성, 내화학성, 접착성, 내구성 등이 우수하다.-
dc.title옥세탄-함유 화합물, 이를 포함한 포토레지스트 조성물,상기 포토레지스트 조성물을 이용한 패턴 형성 방법 및잉크젯 프린트 헤드-
dc.title.alternativeAn oxetane-containing compound, a photoresist composition comprising the same, a method for preparing a pattern using the photoresist composition and an inkjet print head-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor김진백-
dc.contributor.nonIdAuthor김규식-
dc.contributor.nonIdAuthor하용웅-
dc.contributor.nonIdAuthor박병하-
dc.contributor.nonIdAuthor박지영-
dc.contributor.nonIdAuthor김수민-
dc.contributor.assignee삼성전자주식회사,한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2006-0120080-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-0837409-0000-
dc.date.application2006-11-30-
dc.date.registration2008-06-04-
dc.publisher.countryKO-
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