미세유로 형성물 및 미세유체소자 제조방법fabrication method of microfluidic devices
이 발명은 미세유로 및 접속부를 동시에 제작하기 위한 미세유로 형성물을 제조하고, 그 미세유로 형성물을 이용하여 미세유체소자를 제조하는 방법에 관한 것이다.이 발명에 따른 미세유체소자 제조방법은, 제1기판의 한쪽 면에 미세유로의 형상으로 양각을 형성하는 제1단계와; 빛이 투과되는 제2기판의 일부에 빛 차단층을 형성하는 제2단계와; 상기 제1기판의 한쪽 면과 제2기판을 대면하여 정렬하고 상기 제1기판과 제2기판 사이에 광경화성재료를 충전하는 제3단계와; 상기 제2기판을 통해 상기 광경화성재료에 빛을 조사하여 상기 광경화성재료의 일부분을 경화시키는 제4단계와; 상기 제1기판과 제2기판과 경화되지 않은 광경화성재료를 제거하여 미세유로 형성물을 얻는 제5단계와; 상기 미세유로 형성물의 미세유로가 형성된 면을 소자기판에 장착하는 제6단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2007-12-27
- Application Date
- 2006-07-12
- Application Number
- 10-2006-0065367
- Registration Date
- 2007-12-27
- Registration Number
- 10-0791363-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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