미세유로 내부에 로터가 장착된 준 능동형 마이크로 혼합기

Abstract

본 발명은 마이크로 혼합기 및 유동의 혼합방법에 관한 것이며, 보다 상세하게는 미세가공공정(MEMS; Micro Electro Mechanical Systems)에 의해 미세유로 내부에 로터가 장착되는 준 능동형 마이크로 혼합기 및 상기 마이크로 혼합기 내부 유동의 효율적인 혼합방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 마이크로 혼합기는 미세유로; 상기 미세유로 중간부에 상기 미세유로를 흐르는 유동에 의해 동작하는 유동교란수단; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이 때 상기 유동교란수단은 필요에 의하여 다수 개 배열되어 작동될 수도 있으며, 특히 상기 유동교란수단은 로터인 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명은 상기 마이크로 혼합기의 미세유로 내부 유동의 혼합방법에 있어서, 상기 유동의 혼합은 상기 미세유로를 흐르는 유동이 가진 에너지를 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 혼합기의 유동 혼합방법을 제공하는 것을 또 다른 특징으로 한다. 미세가공공정(MEMS), 확산, 혼합, 미세유로, 유동교란수단, 로터