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1
반도체 기판 상의 소정 영역에 탄소나노튜브를 형성시키는 방법, 이를 이용한 반도체 도선 형성방법 및 이를 이용하여 인덕터 소자 제조 방법

이병철; 이정언; 최양규; 윤준보, 2006-12-22

2
나노미터 크기의 갭을 가지는 금속 전극의 형성 방법

윤준보; 장성일; 이현진; 최양규, 2006-09-15

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