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1
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-08-30

2
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-06-20

3
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09

4
플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치

장홍영; 서상훈; 이헌수; 이윤성, 2011-12-09

5
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-07-31

6
축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 박기정; 이윤성, 2017-05-16

7
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-03-19

8
Plasma producing apparatus and substrate board treatment

장홍영; 이윤성; 서상훈, 2019-05-21

9
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 이윤성; 서상훈, 2018-10-24

10
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성

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