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| NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
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| 측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2011-10-07 | |
| 내부 안테나 구조체 및 플라즈마 발생 장치 장홍영; 이헌수, 2011-09-30 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2014-08-01 | |
| 전자빔과 축전결합 플라즈마를 이용한 플라즈마 처리 장치 장홍영; 배인식; 박기정, 2018-01-12 | |
| Plasma producing apparatus and substrate board treatment 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2019-05-21 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2018-10-24 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2018-03-02 | |
| 측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성 | |
| 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수 |
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