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NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
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낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치 장홍영; 서상훈; 정원봉; 채수항; 김재현; 이상원; 엄세훈, 2008-03-27 | |
이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법 장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10 | |
유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나 장치 장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2002-05-13 | |
유도 결합형 플라즈마를 생성하기 위한 안테나 장치 장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2001-09-11 |