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1
낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치

장홍영; 서상훈; 정원봉; 채수항; 김재현; 이상원; 엄세훈, 2008-03-27

2
이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법

장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10

3
유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나 장치

장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2002-05-13

4
유도 결합형 플라즈마를 생성하기 위한 안테나 장치

장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2001-09-11

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