Search
Results 1-3 of 3 (Search time: 0.003 seconds).
| NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
|---|---|
| 축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정; 이윤성, 2017-05-16 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2014-08-01 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2018-03-02 |