Browse "PH-Patent(특허)" by Author 이윤성
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| Plasma producing apparatus and substrate board treatment 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2019-05-21 |
| 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-08-30 |
| 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-06-20 |
| 축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정; 이윤성, 2017-05-16 |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09 |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-07-31 |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-03-19 |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2018-10-24 |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성 |
| 플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치 장홍영; 서상훈; 이헌수; 이윤성, 2011-12-09 |
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Type
- 460 Patent
Date issued
- 177 2010 - 2019
- 62 2000 - 2009
- 1 1998 - 1999