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| 웨이퍼 폴리싱용 실리카 슬러리의 제조 방법 양승만; 소재현; 오민호; 배선혁; 김도현, 2002-03-06 |
| 웨이퍼 폴리싱용 실리카 슬러리의 제조 방법 소재현; 오민호; 배선혁; 양승만; 김도현 |
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Type
- 1,560 Patent
Date issued
- 587 2010 - 2019
- 309 2000 - 2009
- 12 1990 - 1999
- 2 1985 - 1989