학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2016.2 ,[viii, 57 p. :]
plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD); high mobility; indium oxide; polycrystalline; oxide thin-film transistor (TFT); 플라즈마 원자층 증착법; 고 이동도; 인듐 산화물; 다결정; 산화물 박막 트랜지스터
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