스퍼터링 방식으로 제작된 적외선 방사체 소자용 TiNx 박막의 공정압력에 따른 구조적, 전기적 특성 분석

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dc.contributor.authorLee, Hee Chul-
dc.contributor.authorShin, Young Bong-
dc.contributor.authorKang, In Ku-
dc.date.accessioned2017-01-13T07:46:02Z-
dc.date.available2017-01-13T07:46:02Z-
dc.date.created2016-12-29-
dc.date.issued2016-04-08-
dc.identifier.citation한국MEMS학술대회-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/219092-
dc.languageKorean-
dc.publisher마이크로나노시스템학회-
dc.title스퍼터링 방식으로 제작된 적외선 방사체 소자용 TiNx 박막의 공정압력에 따른 구조적, 전기적 특성 분석-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.publicationname한국MEMS학술대회-
dc.identifier.conferencecountryKO-
dc.identifier.conferencelocation제주 KAL 호텔-
dc.contributor.localauthorLee, Hee Chul-
dc.contributor.localauthorShin, Young Bong-
dc.contributor.localauthorKang, In Ku-
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EE-Conference Papers(학술회의논문)
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