적외선 방사소자의 저항체로써 활용을 위한 질화타이타늄 박막의 특성에 관한 연구

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Publisher
마이크로나노시스템학회
Issue Date
2016-04-09
Language
Korean
Citation

한국MEMS학술대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/219090
Appears in Collection
EE-Conference Papers(학술회의논문)
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