양팔 클러스터 장비의 K-주기 운용 시 웨이퍼 지연 분석 및 제어
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Roh, Donghyun | - |
| dc.contributor.author | Lee, Tae-Eog | - |
| dc.date.accessioned | 2017-01-03T06:25:14Z | - |
| dc.date.available | 2017-01-03T06:25:14Z | - |
| dc.date.created | 2016-11-25 | - |
| dc.date.issued | 2016-04-14 | - |
| dc.identifier.citation | 2016 춘계공동학술대회 - 대한산업공학회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/215359 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회 | - |
| dc.title | 양팔 클러스터 장비의 K-주기 운용 시 웨이퍼 지연 분석 및 제어 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 2016 춘계공동학술대회 - 대한산업공학회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주 국제컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | Roh, Donghyun | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Tae-Eog | - |
- Appears in Collection
- IE-Conference Papers(학술회의논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.