Mega Bit DRAM Capacitor를 위한 무결함 박막 SiO2Defect Free Thin SiO2 Thermally Grown On Silicon For Mega Bit DRAM Capacitor
- Publisher
- 대한전자공학회
- Issue Date
- 1987-07
- Language
- KOR
- Description
본 논문은 국책사업인 4Mbit DRAM project의 일환으로 이루어진 것임.
- Citation
대한전자공학회 학술대회, v.9, no.5, pp.436 - 438
- Appears in Collection
- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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