Mega Bit DRAM Capacitor를 위한 무결함 박막 SiO2Defect Free Thin SiO2 Thermally Grown On Silicon For Mega Bit DRAM Capacitor

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Publisher
대한전자공학회
Issue Date
1987-07
Language
KOR
Description

본 논문은 국책사업인 4Mbit DRAM project의 일환으로 이루어진 것임.

Citation

대한전자공학회 학술대회, v.9, no.5, pp.436 - 438

URI
http://hdl.handle.net/10203/21500
Appears in Collection
EE-Conference Papers(학술회의논문)

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