원자층 증착 방법을 이용한 낮은 일함수를 갖는 탄화에르븀 박막 증착 및 에르븀저마나이드 형성에 대한 연구Atomic layer deposition of erbium carbide film for n-type workfunction metal and erbium germanide
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 조병진 | - |
| dc.contributor.advisor | Cho, Byung Jin | - |
| dc.contributor.author | 안현준 | - |
| dc.contributor.author | Ahn, Hyunjun | - |
| dc.date.accessioned | 2016-05-03T19:38:18Z | - |
| dc.date.available | 2016-05-03T19:38:18Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/206807 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과, 2015.2 ,[vii, 63. :] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 원자층 증착 방법 | - |
| dc.subject | 일함수 | - |
| dc.subject | 에르븀 | - |
| dc.subject | 탄화에르븀 | - |
| dc.subject | 에르븀저마나이드 | - |
| dc.subject | Metal ALD | - |
| dc.subject | Tris(isopropylcyclopentadienyl)erbium | - |
| dc.subject | Workfunction | - |
| dc.subject | Erbium | - |
| dc.subject | Erbium carbide | - |
| dc.subject | Erbium di-carbide | - |
| dc.subject | Erbium germanide | - |
| dc.title | 원자층 증착 방법을 이용한 낮은 일함수를 갖는 탄화에르븀 박막 증착 및 에르븀저마나이드 형성에 대한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Atomic layer deposition of erbium carbide film for n-type workfunction metal and erbium germanide | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 :전기및전자공학과 | - |
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- EE-Theses_Master(석사논문)
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