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실리콘 마이크로선 표면의 화학적 식각을 이용한 요철 생성 및 이를 수소 가스 탐지에 적용하는 방법에 관한 연구 = surface roughening of silicon microwire by chemical etching and its application to hydrogen sensorlink

김형균; 박인규; et al, 한국과학기술원, 2019

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