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표준 길이 측정 원자현미경 용 나노 정밀도 스캐너의 설계 및 자가 보정을 통한 계통오차 보정 = The design of nano scanner and the calibration of systematic error using self-calibration for standard length measuring AFM(Atomic Force Microscope)link

김동민; Kim, Dong-Min; et al, 한국과학기술원, 2007

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