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Design of a novel spherical actuator using a VCM principle = VCM 원리를 이용한 구형 구동기 개발에 관한 연구link Kim, Hyo-Young; 김효영; et al, 한국과학기술원, 2013 |
나노 정밀도를 갖는 다축 수직형 마스크 얼라이너의 설계 및 제어에 관한 연구 = Design and Control of a Nano-Precision Multi-Axis Vertical Mask Alignerlink 김효영; Kim, Hyo-Young; et al, 한국과학기술원, 2009 |
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