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LIGA 공정을 이용한 삼면반사체 제작 오동영; 이승섭; 정동관; 박노열, 제2회 한국 MEMS 학술대회, 2000 |
LIGA 공정을 이용한 삼면반사체의 제작 오동영; 정동관; 박노열; 장석상; 이승섭, 한국정밀공학회 춘계학술대회, 한국정밀공학회지, 2000 |
LIGA공정을 이용한 삼면반사체의 제작 오동영; 정동관; 박노열; 장석상; 이승섭, 한국정밀공학회지, v.17, no.8, pp.172 - 179, 2000-08 |
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