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DRAM capacitor 의 응용을 위한 ALD기법을 사용하여 증착한 HfLaO의 전기적 특성에 관한 연구 = Electrical characteristics of ALD HfLaO for DRAM capacitor applicationlink 설혜정; Seol, Hea-Jung; et al, 한국과학기술원, 2009 |
Ultra-thin High-K Dielectrics for memory and logic device applications = 메모리 및 로직 소자용 고유전체 박막에 관한 연구link Shin, Yun-Sang; 신윤상; et al, 한국과학기술원, 2014 |
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