플라즈마를 위한 4MHz ZVS 인버터

Abstract

본 논문은 이산화탄소와 같은 온실가스나 대기상의 오염물질 등을 플라즈마(PLASMA)를 이용해 분해 또는 억제 하는데 필요한 고주파에서 고전력을 공급할 수 있는 전원장치에 관한 내용이다.

제안하는 전원장치의 경우 고주파에서 병렬 공진을 이용하여 고전력을 공급할 수 있고 공진 전류를 병렬공진 구조 내에서 순환시킴으로써 스위치(Switch)에 흐르는 전류를 적게 하여 스위치의 부담을 덜어낸 장점이 있다. 또한 스위치가 LOW-SIDE만 위치하고 있으므로 고주파로 동작시에 Dead-Time-Control이 필요하지 않아 고주파에서 적합한 구조라고 할 수 있으며 PLL(Phase-Locked-Loop)을 이용하여 공진 주파수를 알아내어 공진 주파수로 스위칭을 할 수 있도록 하는 특징이 있다. 아울러, 구동회로의 Delay에 따른 문제를 PLL을 이용하여 해결하였다.