학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과, 2014.2, [ viii, 75 p. ]
금속 원자층 증착 방법; Nickel Germanide; Nickel Silicide; Interlayer; Nickel; Workfunction; 사염화티탄; 알루미늄 트리메틸; 탄화티탄; 일함수; 니켈; 중간층; 니켈 실리사이드; 니켈 저마나이드; Metal ALD; TiCl4; TMA; Titanium Carbide
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