멀티 가스 센서를 위한 저온 액상 공정을 이용한 다종 나노 물질 어레이 제작

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dc.contributor.author박인규-
dc.contributor.author양대종-
dc.contributor.authorMuhamad Kasyful Fuadi-
dc.contributor.author김동환-
dc.date.accessioned2014-11-11T08:56:01Z-
dc.date.available2014-11-11T08:56:01Z-
dc.date.created2014-01-14-
dc.date.issued2013-04-
dc.identifier.citationKMEMS 2013, v., no., pp. --
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/190821-
dc.languageKOR-
dc.publisher대한기계학회-
dc.title멀티 가스 센서를 위한 저온 액상 공정을 이용한 다종 나노 물질 어레이 제작-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.publicationnameKMEMS 2013-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor박인규-
dc.contributor.nonIdAuthor양대종-
dc.contributor.nonIdAuthorMuhamad Kasyful Fuadi-
dc.contributor.nonIdAuthor김동환-
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ME-Conference Papers(학술회의논문)
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