학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2006.8, [ xiii, 155 p. ]
전자 상태; 위상 변위 마스크; 광학 특성; HfO2; phase shift mask; electronic structures; optical properties; HfO2; Hf-O-N; Hf-O-N
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